진공 코팅
올인원 진공 코팅 시스템
다리코리아가 제공하는 진공 코팅 시스템은 고진공 장비, 글러브박스, 그리고 진공 배관 시스템이 통합된 최첨단 설비로, 고순도 불활성 가스 환경(99.999% 이상)에서의 박막 증착 공정을 완벽하게 구현합니다.
이 시스템은 시료의 보관부터 준비, 증착, 후처리 및 분석까지 모든 단계를 하나의 밀폐된 환경 내에서 연속적으로 처리할 수 있도록 설계되어 산화 및 오염을 철저히 방지합니다. 특히 산소나 수분에 민감한 고감도 재료 또는 정밀 전자 소자의 개발에 최적화되어 있어, 신뢰성과 재현성을 동시에 확보할 수 있습니다.
글러브박스 내부에서 진행되는 박막 증착 공정은 외부 공기와의 접촉을 완전히 차단한 상태로 이루어지며, 후공정인 캡슐화, 테스트까지 연계할 수 있어 태양전지, 반도체, 유기 광전기 소자, 차세대 배터리 소재 등 다양한 분야에서 활용되고 있습니다.
설비 구성 및 핵심 특징
- 진공 글러브박스는 표준형 핸드 장비, 주 작업실, 과도실, 진공 챔버 등으로 구성되어 있어 연구소 장비부터 고등 교육기관, 시제품 생산 환경까지 폭넓게 활용 가능합니다.
- 밀폐 순환 구조로 설계된 본 시스템은 20℃, 1기압 기준에서 O₂ 및 H₂O 농도를 0.1ppm 이하로 유지하여 고순도 작업 환경을 제공합니다.
- 부품은 304 스테인리스강으로 제작되어 내구성, 내마모성, 부식 저항성이 뛰어나 장기 사용에 적합합니다.
- 자동화 시스템은 PLC 제어 기반으로 터치스크린 조작, 압력 자동 제어, 분위기 정화, 데이터 저장 및 이력 추적 등 반복 공정을 효율화합니다.
- 진공 펌프, 증착 타겟, 온도 컨트롤러 등 다양한 장비와 연동 가능하여 고정밀 박막 증착 공정 구성이 가능합니다.
